綠碳化硅微粉的莫氏硬度達(dá)到9.5左右，在磨料中表現(xiàn)出色。這一高硬度使得它成為加工硬質(zhì)合金、玻璃、陶瓷和非金屬材料的理想選擇。特別是在半導(dǎo)體行業(yè)，綠碳化硅微粉被廣泛用于研磨和拋光硅片，這是制造半導(dǎo)體器件的關(guān)鍵步驟。
由于其優(yōu)異的物理和化學(xué)性質(zhì)，綠碳化硅微粉能夠提供高效率和高質(zhì)量的加工效果，確保半導(dǎo)體晶圓的平整度和光滑度，這對于提高電子設(shè)備的性能至關(guān)重要
綠碳化硅微粉的性能：
1、綠碳化硅微粉質(zhì)量穩(wěn)定，結(jié)芯片好，外表清潔度高，無大顆粒，細(xì)粒含量少，粒度散布集中，研磨效率高；
2、綠碳化硅微粉與聚乙二醇等切削液有很好的實配性，表面經(jīng)過特殊處理，具備大的比表面積和清潔的外表；
3、高純度、大結(jié)晶的碳化硅原材料，粒度分布集中并且均勻，保證了碳化硅切割微粉的優(yōu)良切割性能和穩(wěn)定的物理狀態(tài)；
4、較高的熱震穩(wěn)定性和荷重軟化溫度，使荷重切割時保證了小的線膨脹系數(shù)，從而保證切割的穩(wěn)定性，與切割機(jī)具有較高的適配性。
綠硅微粉的粒度分布：
| 粒度 | D0（um） | D3(um) | D50(um) | D94(um) |
| #240 | 127以下 | 103以下 | 57.0±3.0 | 40以上 |
| #280 | 112以下 | 87以下 | 48.0±3.0 | 33以上 |
| #320 | 98以下 | 74以下 | 40.0±2.5 | 27以上 |
| #360 | 86以下 | 66以下 | 35.0±2.0 | 23以上 |
| #400 | 75以下 | 58以下 | 30.0±2.0 | 20以上 |
| #500 | 63以下 | 50以下 | 25.0±2.0 | 16以上 |
| #600 | 53以下 | 41以下 | 20.0±1.5 | 13以上 |
| #700 | 45以下 | 37以下 | 17.0±1.5 | 11以上 |
| #800 | 38以下 | 31以下 | 14.0±1.0 | 9.0以上 |
| #1000 | 32以下 | 27以下 | 11.5.±1.0 | 7.0以上 |
| #1200 | 27以下 | 23以下 | 9.5±0.8 | 5.5以上 |
| #1500 | 23以下 | 20以下 | 8.0±0.6 | 4.5以上 |
| #2000 | 19以下 | 17以下 | 6.7±0.6 | 4.0以上 |
| #2500 | 16以下 | 14以下 | 5.5±0.5 | 3.0以上 |
| #3000 | 13以下 | 11以下 | 4.0±0.5 | 2.0以上 |
| #4000 | 11以下 | 8.0以下 | 3.0±0.4 | 1.8以上 |
| #6000 | 8.0以下 | 5.0以下 | 2.0±0.4 | 0.8以上 |
| #8000 | 6.0以下 | 3.5以下 | 1.2±0.3 | 0.6以上 |
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